要求

不銹鋼管件在現場(chǎng)安裝時(shí)方可啟封，啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統。整個(gè)系統安裝完成后，還要再使用5N的高純氮氣進(jìn)行大流量吹掃，以確保整個(gè)系統的潔凈度。供氣系統安裝完成后，根據要求進(jìn)行相關(guān)的強度測試、密封測試和穩定性測試。實(shí)驗室“氣體工程”是一項較為復雜，嚴謹的系統工程，需要專(zhuān)業(yè)的工程公司參與整體設計規劃。

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氣體管路要求

所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對氣體純度要求不是太嚴格的地方。（比如通風(fēng)柜）。氣體管道不得和電纜、導電線(xiàn)路同架鋪設。氣體，如需要和其他氣體分開(kāi)單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設時(shí)，其間距不應小于0.5M；交叉敷設時(shí)間距不應小于0.25M。分層敷設時(shí)氫氣管道應位于上方。壓縮空氣在管路上有過(guò)濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨的閥門(mén)隔離，以方便對過(guò)濾裝置進(jìn)行維修。高純氣體管路的連接為無(wú)縫焊接。連接到閥門(mén)或調節裝置時(shí)才可以使用接頭配件。每個(gè)實(shí)驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門(mén)。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據氣體管路彎曲的半徑，設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。

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智能氣路系統功能模塊

根據不同研究方向需求不同，智能氣路系統可以實(shí)現以下基本功能模塊：

氣體流量單獨控制：用戶(hù)可通過(guò)屏幕上顯示的氣路原理圖直接設定內部質(zhì)量流量控制器（MFC）流量，設定范圍為2%-F.S.

電磁截止閥單獨控制：用戶(hù)可通過(guò)屏幕上顯示的氣路原理圖直接控制電磁截止閥關(guān)斷/開(kāi)啟

自動(dòng)分段進(jìn)氣功能：按照客戶(hù)給出的流量設定值及時(shí)間長(cháng)度自動(dòng)完成分段進(jìn)氣，客戶(hù)可針對流量實(shí)現二次編程，自動(dòng)進(jìn)氣

壓力報警和處理：配合壓力傳感器及電磁閥的聯(lián)動(dòng)，用戶(hù)可自定義設定壓差上限與下限，實(shí)現壓差上限下限報警或關(guān)斷功能，保護實(shí)驗結果和氣路系統

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